Keithley发布特征分析设备混合信号互连解决方案开平

摘要：吉时利(Keithley)仪器|仪表公司日前发布测试界第一个利用一套线缆即可处理I-V、C-V和脉冲I-V信号的互连解决方案(正申请专利)。本款最新布线套件基于专利型设计，能大大加快并简化从任意先进半导体参数分析仪到Cascade Microtech或SUSS MicroTec探测器进行直流电流

吉时利(Keithley)仪器|仪表公司日前发布测试界第一个利用一套线缆即可处理I-V、C-V和脉冲I-V信号的互连解决方案(正申请专利)。本款最新布线套件基于专利型设计，能大大加快并简化从任意先进半导体参数分析仪到Cascade Microtech或SUSS MicroTec探测器进行直流电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)和脉冲I-V测试互连的过程。互连线的设计与吉时利4200-SCS半导体特征分析系统以及其他一些用于特征分析的测试仪器兼容。

该高性能三同轴线缆套件的设计非常适合需要在不同测量类型之间频繁切换的特征分析应用。采用这些新型的线缆套件在不同测量类型之间进行转换时无需重新布线，且能消除由于连线误差而导致的测量误差。其包括两种线缆套件——一种适用于Cascade Microtech探测器，另外一种适用于SUSS MicroTec探测器。

对半导体器件进行电气特征分析并掌握其生产过程中所用工艺，需要进行各种测量操作包括直流I-V、C-V和脉冲式I-V测量。将不同类型的测量集成在一个特征分析系统中最大挑战是，每种测量都有完全不同的布线需求。例如，进行低电流I-V测量需要加保护层，因此需要三轴线；C-V测量通常采用四条同轴线缆并将外壳连接在一起以控制信号遇到的特征阻抗；脉冲测量所需带宽在三种测量类型中最高，因此布线的特征阻抗必须与源阻抗相匹配，以防止DUT的反射信号在源端发生反射。

吉时利新推出的布线套件在设计时考虑到以上不同需求，用户进行任何类型的测量都无需改动探针控制器的布线；只需简单把线缆从一组仪器互连转换到另一组，大大简化了I-V测量、C-V测量和脉冲I-V测试之间的转换，从而简化器件特征分析过程。此外，在探针接触圆片时可修改测试配置以减少pad损伤，并对所有三类测量都能保持相同接触阻抗。

吉时利4200-SCS以一套紧密集成的特征分析解决方案取代了多种分离的电气测试五金|工具，是可靠性实验室、材料与器件研究实验室进行半导体技术研究、工艺研发和材料研究的理想选择，能满足所有需要台式直流或脉冲测试仪的实验室的需要。自推出4200-SCS系统以来，吉时利不断增强其硬件和软件功能。吉时利对系统不断更新的承诺确保用户能够获得高性价比的升级途径，用户无需因为原有仪器过时而购买新的参数分析仪。系统通过高性价比的升级能满足业界不断增长的测试需求，相比竞争对手的测试方案，用户对4200-SCS的固定资产投资有效期更长。

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